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德国IFM易福门真空传感器的工作原理是介质的压力作用在传感器的膜片上
IFM真空传感器的工作原理是介质的压力直接作用在传感器的膜片上，使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻发生变化，和用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这个压力的标准信号。
1.传感器：能感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置。通常有敏感元件和转换元件组成。
①敏感元件是指传感器中能直接（或响应）被测量的部分。
②转换元件指传感器中能较敏感元件感受（或响应）的北侧量转换成是与传输和（或）测量的电信号部分。
③当输出为规定的标准信号时，则称为变送器。
2. 测量范围：在允许误差限内被测量值的范围。
3. 量程：测量范围上限值和下限值的代数差。
4. 精确度：被测量的测量结果与真值间的一致程度。
5. 从复性：在所有下述条件下，对同一被测的量进行多次连续测量所得结果之间的符合程度：
6. 分辨力：传感器在规定测量范围圆可能检测出的被测量的最小变化量。
7. 阈值：能使传感器输出端产生可测变化量的被测量的最小变化量。
8. 零位：使输出的绝对值为最小的状态，例如平衡状态。
9. 激励：为使传感器正常工作而施加的外部能量（电压或电流）。
10. 最大激励：在市内条件下，能够施加到传感器上的激励电压或电流的最大值。
11. 输入阻抗：在输出端短路时，传感器输入的端测得的阻抗。
12. 输出：有传感器产生的与外加被测量成函数关系的电量。
13. 输出阻抗：在输入端短路时，传感器输出端测得的阻抗。
14. 零点输出：在市内条件下，所加被测量为零时传感器的输出。
15. 滞后：在规定的范围内，当被测量值增加和减少时，输出中出现的最大差值。
16. 迟后：输出信号变化相对于输入信号变化的时间延迟。
17. 漂移：在一定的时间间隔内，传感器输出终于被测量无关的不需要的变化量。
18. 零点漂移：在规定的时间间隔及室内条件下零点输出时的变化。
19. 灵敏度：传感器输出量的增量与相应的输入量增量之比。
20. 灵敏度漂移：由于灵敏度的变化而引起的校准曲线斜率的变化。
21. 热灵敏度漂移：由于灵敏度的变化而引起的灵敏度漂移。
22. 热零点漂移：由于周围温度变化而引起的零点漂移。
23. 线性度：校准曲线与某一规定只限一致的程度。
24. 菲线性度：校准曲线与某一规定直线偏离的程度。
25.长期稳定性：传感器在规定的时间内仍能保持不超过允许误差的能力。
26. 固有凭率：在无阻力时，传感器的自由（不加外力）振荡凭率。
27. 响应：输出时被测量变化的特性。
28. 补偿温度范围：使传感器保持量程和规定极限内的零平衡所补偿的温度范围。
29. 蠕变：当被测量机器多有环境条件保持恒定时，在规定时间内输出量的变化。
30. 绝缘电阻：如无其他规定，指在室温条件下施加规定的直流电压时，从传感器规定绝缘部分之间测得的电阻值。
场发射IFM真空传感器是采用MEMS加工工艺研制一种新型的基于硅尖阵列场发射原理的微型IFM真空传感器。通过理论分析， 确立了该种传感器中硅尖场发射电流与真空度的关系。并利用干法刻蚀工艺， 在硅片上制作了高3.2μm， 曲率半径小于70nm的200 ×42硅尖阵列。保持阳极与硅尖距离为1μm的情况下， 可以观察到阳极电压为10V左右时开始有明显的场发射电流。
利用硅尖阵列场发射电流大小随真空度变化而变化的现象， 研制了一种基于硅尖阵列场发射原理的场发射IFM真空传感器。利用MEMS加工工艺制作出传感器样机， 并搭建测试系统测试其特性。通过实验发现， 随着真空度的提高， 传感器输出电流也会随之增大， 而且真空度越高输出电流越大， 分辨率、灵敏度越高。
